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省重點研發計劃項目“碳化硅基片高效精密加工及其成套技術設備關鍵技術”通過驗收

發布時間:2025-11-24 | 來源: | 作者:
  11月20日,公司牽頭承擔的湖南省重點研發計劃“碳化硅基片高效精密加工及其成套技術設備關鍵技術”項目順利通過湖南省科技廳組織的綜合績效評價驗收。驗收會由湖南省科學技術事務中心研究員謝靜波主持,瀏陽市科技局黨組副書記、副局長周曄虹參會,集團董事長許世雄先生出席會議并致歡迎詞。
  研發項目現場驗收
      績效評價專家組由3位技術專家和1名財務專家組成,專家組通過聽取項目負責人對項目實施情況、形成技術及主要成果、經費執行情況等方面的詳細匯報,結合現場察看產品、審閱相關驗收材料及質詢討論,一致認為項目組提交的驗收資料齊全、規范、符合項目驗收要求。項目完成了任務書規定的考核指標,對碳化硅基片高效精密磨削、研磨與拋光加工工藝進行了系統研究,在高精度氣浮電主軸技術、高精度氣浮旋轉轉臺技術、拋光盤壓力高精度穩定控制技術、高精度靜壓轉臺技術等核心技術取得了突破,提出了碳化硅減薄磨床立柱布局新結構。研制了高精度立式單面磨床、高精度立式雙面研磨(拋光)機等三款整體技術具有國際先進水平的產品,取得了顯著的經濟和社會效益,建議加大新產品推廣力度,同時利用相關技術開發系列產品滿足市場需求,一致同意通過驗收。
  
      項目順利通過驗收,標志著公司在第三代半導體加工裝備領域核心技術突破取得重要成果,宇環數控將持續深化項目技術轉化與推廣應用,加大研發投入力度,推動半導體加工裝備技術迭代升級,為湖南先進制造業高質量發展貢獻力量。
 
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